SEM安装离子束曝光EBL配件的通知

各位老师、同学:

扫描电子显微镜(SEM)于2022.9.6开始安装EBL配件,预计耗时4天。在安装期间,暂停测试,可正常预约。

分析测试共享中心

2022年9月5日

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